常用的表面粗糙度的测量方法有比较法、光切法、光波干涉法和针描法。这些方法基本上用于测量表面粗糙度的幅度参数。
    一、比较法。比较法是将被测零件表面与粗糙度样板直接进行比较的一种测量方法。它可以通过视觉、触觉或借助放大镜、比较显微镜，估计出表面粗糙度的值。这种方法多用于车间，评定一些表面粗糙度参数值较大的表面。这种方法精度较差，只能做定性分析比较。

    二、光切法。光切法是利用光切原理，即光的反射原理测量表面粗糙度的一种方法。常用的仪器是光切显微镜（双管显微镜），该仪器适宜测量车、铣、刨或其他类似加工方法所加工的零件平面或外圆表面。光切法主要用来测量粗糙度参数Rz的值，其测量范围为0.8~50μm。

光切显微镜工作原理图

    三、光波干涉法。光波干涉法是利用光波的干涉原理测量表面粗糙度的方法。常用的仪器是干涉显微镜，适宜用来测量粗糙度参数Rz，测量范围为0.05~0.8μm。

光波干涉法测量原理图

    四、针描法。针描法的工作原理是利用金刚石触针在被测表面上等速缓慢移动，被测表面的微观不平度将使触针作垂直方向的上下移动，该微量移动通过传感器转换成电信号，并经过放大和处理，得到被测参数的相关数值。
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